XYステージ

製品概要

精密板金技術がXYステージの薄型を可能にしました。

当社のXYステージは、高精度な精密板金技術で作られているため、薄くて軽く、限られたスペースでも設置しやすいことが特長です。

→精密板金とは

FLATSLIM　シートメタルステージ　FX150 （標準仕様）

精密板金部品を採用した薄くて軽いステージ。お好みでXYテーブルの材質や表面処理のカスタマイズが可能です。
2台重ね合わせて固定すると、XYステージとしても使えます。

主な寸法

主な仕様

有料で仕様のカスタマイズが可能です

PDFカタログ

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価格・納期・カスタムなどのお問い合わせ

価格やカスタム内容については、こちらのメールフォームからお問い合わせください。
納期は受注生産のため、ご注文を受けてから約1ヶ月ほど、お時間をいただいております。

FLATSLIM　シートメタルステージ　FXYL100 （標準仕様）

精密板金部品を採用した薄くて軽いXYステージ。シャフトとリニアブッシュを採用した直動方式のため、軽い力でなめらかに動きます。
底面には滑り止めのゴム足が付いているので、据え置きして顕微鏡を使った検査や観察用に最適です。
標準仕様には送り機構は付いておりませんが、目的に応じてXYテーブルの材質や表面処理を含め、カスタマイズが可能です。

主な寸法

主な仕様

有料にて仕様の変更が可能です

価格・納期・カスタムなどのお問い合わせ

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納期は受注生産のため、ご注文を受けてから約1ヶ月お時間をいただいております。

特注XYステージ

汎用標準品のほか、お客様の用途やご希望に合わせたXYステージの製作を承っております。
1台から製作可能です。

用途に合わせたラインナップ

• クロスローラータイプ・貫通穴タイプ・低摩擦音タイプ・重荷重用　など

サイズ

□50mm～□300mm

厚み

1軸用　t:5mm～

2軸用　t:7mm～

製作事例

小型薄型XYステージ　低温温調用

XY軸を手動制御できるXYステージ
50角で小型・薄型・軽量
機器組み込み用につまみねじを延長したカスタム仕様

S社様向けXYステージ

主な特長

1. XYの2軸を手動でコントロールすることが可能
2. 精密板金加工の部品を採用し、総厚20mmの薄型を実現
3. XYの各軸は±5mmのストロークが可能
4. ステージ材質は1mm厚のSUS430を採用
5. ステージ上面にM3バーリングタップを配置

薄型XYステージ　分光分析用

XY軸を手動制御できるXYステージ
300角の超大型薄型ステージ
アルミ製でありながら垂直方向の耐荷重20kgfを実現

横浜国立大学様向け分光分析用XYステージ

主な特長

1. XYの2軸を手動でコントロールすることが可能
2. 精密板金加工の部品を採用し、総厚22mmの薄型を実現
3. XYの各軸は±50mmのロングストロークを実現
4. 黒色アルマイト処理した1.5mm厚の非磁性アルミA5052を採用
5. ステージ上面にM6バーリングタップを配置

薄型XYステージ　ウェハ特性評価用

XY軸を手動制御できるXYステージ
カスタマイズした250角の大型薄型ステージ
中央は非磁性のアルミ製で座ぐりを設けて4インチウェハを固定

A社様向けウェハ特性評価用XYステージ

主な特長

1. XYの2軸を手動でコントロールすることが可能
2. 精密板金加工の部品を採用し、総厚20mmの薄型を実現
3. XYの各軸は±50mmのロングストロークを実現
4. ステージ面は板厚1mmのステンレス鋼板と中央部はアルミA5052を採用
5. 中央にΦ100の座ぐり穴を設置

シートメタルステージ　FXYL100　自社製アクチュエータのデモ用

XY軸をなめらかに動作できるXYステージ
摩擦抵抗が少なく、少ない力で高速に動作できるモデル
外部の力で動作する送り機構レスタイプ

F社様向け自社製アクチュエータのデモ用XYステージ

主な特長

1. XY軸を外部の力でコントロールすることが可能
2. リニアブッシュと精密板金加工部品を採用し、なめらかで低負荷な動作を実現
3. 標準と同じ総厚、XY軸のストローク
4. 機構部のM2ねじ長さを、3ミリから5ミリに変更
5. 下段ステージにM3を4ヶ所追加
   
   

XYθステージ　ターゲットマーク位置決め用

XYθ軸を手動制御できるXYステージ
カスタマイズ仕様で標準タイプより薄い総厚25mmを実現
組み込む装置のレイアウトに合わせて、ノブの長さを延長したモデル

N社様向けターゲットマーク位置決め用XYθステージ

主な特長

1. XYθの3軸を手動でコントロールすることが可能
2. 精密板金加工の部品を採用し、標準モデルより更に薄い総厚25mmの薄型を実現
3. XY軸のストローク量は各軸±8mm、θ軸は360°回転可能
4. XY軸は板厚1mmのステンレス鋼板、θ軸はアルミA5052を採用
5. 中央にΦ35の貫通穴を設置

薄型XYステージ　測定機器位置調整用

測定機器を搭載し、XY軸を手動制御できるXYステージ
1軸あたりの厚さ12.5mm、XY軸の総厚25mm
厚さ1.2mmのステンレス鋼板を採用して耐荷重性能をアップさせたカスタマイズモデル

K社様向け顕微鏡観察用電動XYステージ

主な特長

1. XY軸の2軸を手動でコントロールすることが可能
2. 精密板金加工の部品を採用した薄型設計により、総厚25mmの薄型と約495gの軽量化を実現
3. ストローク量は各軸±10mm
4. ステージ部品は板厚1.2mmのステンレス鋼板を採用し、垂直方向の耐荷重5kgfを実現
5. 取り付けねじの位置はVESAマウント規格に対応

用途

三脚を動かさずに、ステージに搭載した測定機器だけを位置調整したいとき

仕様

薄型XYステージ

XY軸を手動制御できるXYステージ
1軸あたりの厚さ10mm、XY軸の総厚20mm
ステージ表面には光の反射を抑える処理を採用

株式会社生体分子計測研究所様（金沢大学様）向け
薄型XYステージ

主な特長

1. XY軸の2軸を手動でコントロールすることが可能
2. 精密板金加工の部品を採用した薄型設計により、総厚20mmの薄型と軽量な約580gを実現
3. ストローク量は各軸±10mmで、ステージ中央に大口径φ70の貫通穴をカスタマイズで追加
4. ステージの精密板金部品には反射光を抑える低温黒色クロムめっき処理を採用

用途

測定・検査などで試料をXY軸で位置調整したいとき

仕様

薄型XYθステージ

XY軸とθ軸（回転軸）が手動制御できるXY回転ステージシステム
徹底した薄型設計により総厚25mmを実現
新たに7mm厚の薄型Xステージを開発、搭載

公益財団法人高輝度光科学研究センター様
（国立研究開発法人理化学研究所様）向け
薄型XYθステージ

主な特長

1. X,Y,θ軸の3軸を手動でコントロールすることが可能
2. 精密板金加工の部品を採用した薄型設計により、薄型、軽量を実現
3. 単体で7mm厚、ストローク量±8mm、中央にφ35穴付きのXステージを新たに開発
4. システム全体の厚みが25mmなので、限られたスペースに組み込みが可能

用途

測定・検査などで試料をXYθ軸で位置調整したいとき

仕様

磁界測定用XYZステージ

磁界測定の自動化が可能になり、実験工数を大幅に削減
PCと接続し、最小0.1mmピッチのステッププログラム動作が可能

※現在、販売はおこなっておりません。

国立研究開発法人産業技術総合研究所様向け
磁界測定用ステージ

主な特長

1. PCとUSB接続して、XYZ3軸のコントロールが可能
2. PCの画面上から動作条件を入力するだけで、最小0.1mmピッチのステップ送り動作が可能
3. 省エネルギー設計と精密板金部品を使用することで、低電力および低価格、軽量化を実現

用途

試験・分析等の、ステップ送りによるグリッド状の自動測定

仕様

超薄型X,XYステージユニット　研究用

研究部門の実験・試験・分析に最適な超薄型で、
ベースに周辺部品を組込んだ実験ユニットを丸ごとセットでご提供
目的に合わせてカスタマイズ可能

研究部門向け　超薄型X,　XYステージ,　実験ユニット

主な特長

研究部門の実験装置において、レイアウトに高さや、必要な形状、サイズ、ストローク等様々な制限があり、市販のX, XYステージでは想定した実験が行えない場合があります。実験装置が複雑化するなか、試料や測定物の位置決め、機器の位置調整を行うX, XYステージの薄型化やカスタマイズ化が求められています。精密板金部品を採用することで超薄型（＊）形状で、用途に合わせたサイズ、ストロークを実現した本製品により、実験装置においてレイアウトの自由度を高めることができます。

*Xステージテーブル高 4mm、XYステージテーブル高 7mm

主な特長

1. 超薄型で高さに制限のある場所でも設置が可能
2. 精密板金部品を使用することで超薄型と低価格を実現
3. 目的に合わせてステージのカスタマイズが可能、すぐに使える組立済み実験ユニットにも対応

用途

実験・試験・分析における試料や測定物の位置決め、機器の位置調整

外形寸法

（W×D×H、単位：mm）

仕様

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導入までの流れ